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微电子工业水质标准
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LED(TFT) |
256K DRAM |
1M DRAM |
4M DRAM |
16M DRAM |
64M DRAM |
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线宽度(um) |
- |
1.4 - 1.8 |
0.8 - 1.0 |
0.4 - 0.6 |
0.2 - 0.3 |
0.1 |
|
电阻率
（Mohm,25℃） |
>18.0 |
>17.5 |
>18.0 |
>18.0 |
>18.1 |
>18.1 |
|
TOC（ppb） |
<20 |
<100 |
<30 |
<10 |
<3 |
<1 |
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微粒（No./ml） |
(0.1μ) <10/ml |
(0.2μ) <50/ml |
(0.1μ) <10/ml |
(0.05μ) <30/ml |
(0.03μ) <10/ml |
(0.03μ) <5/ml |
|
细菌（CFU/ml） |
<1/100 |
<10/100 |
<1/100 |
<5/1000 |
<5/1000 |
<5/1000 |
|
溶解氧（ppb） |
<50 |
<100 |
<100 |
<50 |
<5 |
<3 |
|
二氧化硅（ppb） |
<5 |
<10 |
<5 |
<3 |
<1 |
<0.5 |
|
硼（ppb） |
- |
- |
<2 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
|
钠（ppb） |
<0.1 |
<0.2 |
<0.1 |
<0.1 |
0.05 |
0.01 |
|
钾（ppb） |
<0.1 |
<0.3 |
<0.1 |
<0.1 |
0.05 |
0.02 |
|
锌 |
<0.05 |
<0.1 |
<0.05 |
<0.05 |
0.02 |
0.02 |
|
铁 |
<0.05 |
|
<0.05 |
<0.05 |
0.02 |
0.02 |
|
铜 |
<0.05 |
|
<0.05 |
<0.05 |
0.005 |
0.005 |
|
氯化物 |
<0.1 |
<0.2 |
<0.1 |
0.1 |
0.02 |
0.02 |
|
溴化物 |
|
<0.1 |
<0.1 |
0.05 |
0.02 |
0.02 |
|
硝酸盐 |
|
<0.1 |
<0.1 |
0.05 |
0.02 |
0.02 |
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硫酸盐 |
|
0.1 |
<0.2 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
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不溶残渣 |
|
<0.3 |
0.1 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
注：本章节内容仅供参考
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